晶圆的位置调节机构

专利主权项内容

1.一种晶圆的位置调节机构，包括：晶圆载具(100)、底基板(1)、Y向活动板(2)和X向活动板(3)，所述底基板(1)上表面安装有一Y轴传动模组(4)，下表面与该Y轴传动模组(4)的活动部连接的所述Y向活动板(2)的上表面安装有一X轴传动模组(5)，所述X向活动板(3)的下表面与该X轴传动模组(5)的活动部连接，其特征在于：所述X向活动板(3)的上方设置有一转动圆环(7)，该转动圆环(7)的外圆周面通过一同步带(81)与一同步轮(82)传动连接，所述同步轮(82)安装于一旋转电机(83)的输出轴上，所述转动圆环(7)的内壁上形成有一沿径向向内的V型凸环(71)，所述X向活动板(3)的上表面并位于转动圆环(7)的内部安装有至少3个在周向上等间隔排列的V型轴承(10)，所述V型凸环(71)对应地嵌入每个V型轴承(10)外圈上的V型槽内，使得转动圆环(7)的下表面与X向活动板(3)的上表面间隙配合，所述转动圆环(7)的上表面与晶圆载具(100)的下表面连接。