晶圆蓝膜的位置调节机构

专利主权项内容

1.一种晶圆蓝膜的位置调节机构，包括：晶圆载具(100)和位于晶圆载具(100)下方的基板(9)，其特征在于：所述基板(9)的上表面安装有一支撑圆环(11)，所述基板(9)的上方并位于支撑圆环(11)的外侧设置有若干个通过一同步带(121)传动连接的同步轮(122)，任意一个所述同步轮(122)与一Z轴电机(123)的输出轴传动连接，每个所述同步轮(122)均通过一套筒(13)可转动地安装于基板(9)上，所述套筒(13)的上表面开设有一具有内螺纹的安装孔(131)，每个所述套筒(13)的安装孔(131)内均安装有一丝杆(14)，下端与所述安装孔(131)的内壁螺纹连接的所述丝杆(14)的上端与所述晶圆载具(100)的下表面连接，所述晶圆载具(100)下表面开设有与所述支撑圆环(11)对应的通孔(103)，所述通孔(103)的内径大于支撑圆环(11)的外径，使得支撑圆环(11)的上端面可穿过通孔(103)与晶圆载具(100)内的蓝膜(104)的下表面接触，所述蓝膜(104)的上表面设置有晶圆(101)；
所述基板(9)上表面的边缘处开设有一条形滑槽(7)，该条形滑槽(7)内嵌入安装有一可沿条形滑槽(7)的长度方向移动的滑动块(8)，所述滑动块(8)位于同步带(121)内的一端可转动地安装有一张紧轮(5)，所述滑动块(8)的另一端开设有一沿条形滑槽(7)的长度方向延伸的腰形安装孔(10)，一螺栓穿过所述腰形安装孔(10)并与基板(9)连接，将所述滑动块(8)固定安装于条形滑槽(7)内并使得张紧轮(5)与同步带(121)挤压接触。