磁控溅射镀膜装置

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拉普拉斯(西安)科技有限责任公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请属于太阳能电池制造技术领域，涉及一种磁控溅射镀膜装置，该磁控溅射镀膜装置包括炉体、磁控溅射机构、供气机构以及多个加热件，炉体设置有反应腔，反应腔的腔壁为连续的平滑过渡面；磁控溅射机构活动安装于反应腔内，供气机构与反应腔相连通；多个加热件均设置于炉体；沿第一方向观察，多个加热件围绕反应腔分布；第一方向为炉体的轴线方向。本申请中的磁控溅射镀膜装置通过将反应腔的腔壁设计成连续平滑过渡面，能够降低因反应腔内出现死角，导致反应气体堆积的风险，从而使反应气体均匀分布在反应腔内，提高磁控溅射镀膜装置镀膜的均匀性，进而提高太阳能电池性能。