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晶圆盒对中定位平台
申请人信息
- 申请人:天津中科晶禾电子科技有限责任公司
- 申请人地址:300451 天津市滨海新区滨海高新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园22-A号厂房二层C角
- 发明人: 天津中科晶禾电子科技有限责任公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 晶圆盒对中定位平台 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323162281.4 |
| 申请日 | 2023/11/23 |
| 公告号 | CN220420557U |
| 公开日 | 2024/1/30 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 天津中科晶禾电子科技有限责任公司 |
| 发明人 | 刘双全; 高智伟; 母凤文; 郭超 |
| 地址 | 天津市滨海新区滨海高新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园22-A号厂房二层C角 |
摘要文本
天津中科晶禾电子科技有限责任公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及半导体材料加工技术领域，尤其涉及一种晶圆盒对中定位平台。包括基座，所述基座用于承载晶圆盒；对中定位块，设于所述基座上，作为所述晶圆盒的对中定位点；左滑块和右滑块，分别设于所述对中定位块左右两侧；所述左滑块和所述右滑块被配置为以所述对中定位块中心为基准，能够等距镜像移动；所述移动包括所述左滑块与所述右滑块间的相向移动或背离移动；所述左滑块和所述右滑块共同作用以卡接所述晶圆盒。以实现不同尺寸、型号晶圆盒的对中定位。。
专利主权项内容
1.晶圆盒对中定位平台，其特征在于：包括基座，所述基座用于承载晶圆盒；对中定位块，设于所述基座上，作为所述晶圆盒的对中定位点；左滑块和右滑块，分别设于所述对中定位块左右两侧；所述左滑块和所述右滑块被配置为以所述对中定位块中心为基准，能够等距镜像移动；所述移动包括所述左滑块与所述右滑块间的相向移动或背离移动；所述左滑块和所述右滑块共同作用以卡接所述晶圆盒。