说明了一种用于电子器件(例如MEMS、BAW或SAW类型)的覆盖物。
所述覆盖物包括至少一个层(5、6、7)，所述层具有带多个凸部(8、9、15)和/或凹部(10、11、16)的结构化部分(19、20、21)。
此外，还提出用于制造这种覆盖物(1)的方法。

安斯加尔·朔伊费勒

追踪有限公司

美国加利福尼亚州

说明了一种用于电子器件(例如MEMS、BAW或SAW类型)的覆盖物。
所述覆盖物包括至少一个层(5、6、7)，所述层具有带多个凸部(8、9、15)和/或凹部(10、11、16)的结构化部分(19、20、21)。
此外，还提出用于制造这种覆盖物(1)的方法。