本发明公开了一种具有纯轴向变形敏感梁的MEMS压阻式三轴冲击加速度计芯片及其制备方法,该芯片包括X、Y、Z三个测量单元组成,分别用来测量X、Y、Z三个方向的加速度;无论是哪个测量单元,支撑量与敏感梁分离,支撑梁主要作用是支撑质量块运动,而应力主要集中于敏感梁,使得敏感梁上的压敏电阻条阻值发生变化,极大的弱化了灵敏度与谐振频率的相互制约关系,使得传感器的灵敏度和谐振频率都有了很大提高;无论是哪个测量单元,当受到某一方向的作用力时,两质量块的同步运动,与其固定的敏感梁两端也同步运动,从而敏感梁始终满足纯轴向变形条件,在相同谐振频率下,传感器的灵敏度达到最优。
赵立波 于明智 马银涛 贾琛 皇咪咪 杨萍 王久洪 蒋庄德
西安交通大学
710049 陕西省西安市咸宁西路28号
本发明公开了一种具有纯轴向变形敏感梁的MEMS压阻式三轴冲击加速度计芯片及其制备方法,该芯片包括X、Y、Z三个测量单元组成,分别用来测量X、Y、Z三个方向的加速度;无论是哪个测量单元,支撑量与敏感梁分离,支撑梁主要作用是支撑质量块运动,而应力主要集中于敏感梁,使得敏感梁上的压敏电阻条阻值发生变化,极大的弱化了灵敏度与谐振频率的相互制约关系,使得传感器的灵敏度和谐振频率都有了很大提高;无论是哪个测量单元,当受到某一方向的作用力时,两质量块的同步运动,与其固定的敏感梁两端也同步运动,从而敏感梁始终满足纯轴向变形条件,在相同谐振频率下,传感器的灵敏度达到最优。