一种碲锌镉晶片的绿色环保化学机械抛光方法，属于半导体超精密加工技术领域。
先对碲锌镉晶片进行研磨加工，研磨液为去离子水，然后是化学机械抛光，采用棒状介孔陶瓷磨料，去离子水，氧化剂，分散剂和pH调节剂配置抛光液。
采用本发明方法抛光后CZT表面粗糙度检测的范围是5×5μm

张振宇 郜培丽 孟凡宁 刘婷婷 孟祥东 谢文祥

大连理工大学

116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号

一种碲锌镉晶片的绿色环保化学机械抛光方法，属于半导体超精密加工技术领域。
先对碲锌镉晶片进行研磨加工，研磨液为去离子水，然后是化学机械抛光，采用棒状介孔陶瓷磨料，去离子水，氧化剂，分散剂和pH调节剂配置抛光液。
采用本发明方法抛光后CZT表面粗糙度检测的范围是5×5μm