本发明涉及一种掩膜版的清洗方法，在蒸镀结束后，预先对所述掩膜版上的蒸镀孔进行封堵处理，再将得到的掩膜版进行正常的清洗步骤，该方法未改变掩膜版的原有结构，且通过封堵掩膜版上的蒸镀孔，即可防止纤维混入掩膜版的蒸镀孔中，减弱纤维杂质对掩膜版造成的影响，增加了掩膜版的使用次数，有利于节约资金。

杨硕 袁亚鸿 王善鹤 李素华 郑立明 张迪

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本发明涉及一种掩膜版的清洗方法，在蒸镀结束后，预先对所述掩膜版上的蒸镀孔进行封堵处理，再将得到的掩膜版进行正常的清洗步骤，该方法未改变掩膜版的原有结构，且通过封堵掩膜版上的蒸镀孔，即可防止纤维混入掩膜版的蒸镀孔中，减弱纤维杂质对掩膜版造成的影响，增加了掩膜版的使用次数，有利于节约资金。