本发明提供一种晶棒取出防护组件、晶棒取出装置及晶棒取出方法，该晶棒取出防护组件包括：保护模块，包括保护支架、两个旋转轴及第一动力部件，保护支架包括两个旋转臂及连接两个旋转臂的托板，旋转臂可绕旋转轴旋转；第一动力部件驱动旋转轴旋转；升降模块，驱动保护模块在第一方向上升降，第一方向为晶棒的长度方向；侧面防护模块，包括：两个移动杆，两个移动杆一端连接在所述旋转臂上，另一端相向设置，可相向或相反运动；防护元件，设置在两个移动杆的相向设置的一端；驱动移动杆往复移动的第三动力部件。
本发明晶棒取出防护组件、晶棒取出装置及晶棒取出方法，可提高晶棒生产效率及晶棒转移取出环节的稳定性与安全性。

刘佳奇

西安奕斯伟硅片技术有限公司

710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室

本发明提供一种晶棒取出防护组件、晶棒取出装置及晶棒取出方法，该晶棒取出防护组件包括：保护模块，包括保护支架、两个旋转轴及第一动力部件，保护支架包括两个旋转臂及连接两个旋转臂的托板，旋转臂可绕旋转轴旋转；第一动力部件驱动旋转轴旋转；升降模块，驱动保护模块在第一方向上升降，第一方向为晶棒的长度方向；侧面防护模块，包括：两个移动杆，两个移动杆一端连接在所述旋转臂上，另一端相向设置，可相向或相反运动；防护元件，设置在两个移动杆的相向设置的一端；驱动移动杆往复移动的第三动力部件。
本发明晶棒取出防护组件、晶棒取出装置及晶棒取出方法，可提高晶棒生产效率及晶棒转移取出环节的稳定性与安全性。