本发明公开了一种三维MEMS海洋湍流传感器,涉及传感器领域。
该三维MEMS海洋湍流传感器包括传感单元,传感单元包括基底结构,基底结构上设有四个呈十字形排列的微悬臂梁,各个微悬臂梁朝向十字形中心的一端呈卷曲状,基底结构和微悬臂梁上包覆有弹性包覆体;每一微悬臂梁包括自下而上设置的Si薄膜层、SiN薄膜层和Cr薄膜层,微悬臂梁上设有压敏电阻,每一压敏电阻与三个恒定电阻构成惠斯通电桥,微悬臂梁的下端面通过SiO
杨华 孙斐 王晓波 宋大雷 王向东
中国海洋大学
266100 山东省青岛市崂山区松岭路238号
本发明公开了一种三维MEMS海洋湍流传感器,涉及传感器领域。
该三维MEMS海洋湍流传感器包括传感单元,传感单元包括基底结构,基底结构上设有四个呈十字形排列的微悬臂梁,各个微悬臂梁朝向十字形中心的一端呈卷曲状,基底结构和微悬臂梁上包覆有弹性包覆体;每一微悬臂梁包括自下而上设置的Si薄膜层、SiN薄膜层和Cr薄膜层,微悬臂梁上设有压敏电阻,每一压敏电阻与三个恒定电阻构成惠斯通电桥,微悬臂梁的下端面通过SiO