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专利摘要

一种类单晶硅晶体生长方法和热场结构,本发明涉及一种太阳能晶体硅材料的技术领域。
使用单块板状籽晶,在籽晶诱导下从上向下沿籽晶厚度方向,从硅熔液中生长高度略等于宽度的准方形晶体。
为实现所述晶体生长方法,本发明热场结构包括主、副炉室、籽晶装载腔、晶棒卸载腔,晶体提拉机构,坩埚,加热器,保温筐,隔热板等部件,副炉室中的晶体提拉机构挂载籽晶诱导晶体生长,在晶体生长过程中,在籽晶装载腔和晶棒卸载腔进行籽晶模块的准备和晶棒的取出,晶棒生长完成后,晶体提拉机构可快速卸载并再次挂载籽晶块生长下一根晶体。
本发明所生长类单晶硅晶体,具有晶向统一,边皮料比例低,产品合格率高,缺陷密度低,生产效率高的特点。

专利状态

基础信息

专利号
CN201910519285.2
申请日
2019-06-17
公开日
2021-06-01
公开号
CN110205672B
主分类号
/C/C30/ 化学;冶金
标准类别
晶体生长
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
有效专利

发明人

张志强

申请人

常州常晶科技有限公司

申请人地址

213001 江苏省常州市新北区华山路18号

专利摘要

一种类单晶硅晶体生长方法和热场结构,本发明涉及一种太阳能晶体硅材料的技术领域。
使用单块板状籽晶,在籽晶诱导下从上向下沿籽晶厚度方向,从硅熔液中生长高度略等于宽度的准方形晶体。
为实现所述晶体生长方法,本发明热场结构包括主、副炉室、籽晶装载腔、晶棒卸载腔,晶体提拉机构,坩埚,加热器,保温筐,隔热板等部件,副炉室中的晶体提拉机构挂载籽晶诱导晶体生长,在晶体生长过程中,在籽晶装载腔和晶棒卸载腔进行籽晶模块的准备和晶棒的取出,晶棒生长完成后,晶体提拉机构可快速卸载并再次挂载籽晶块生长下一根晶体。
本发明所生长类单晶硅晶体,具有晶向统一,边皮料比例低,产品合格率高,缺陷密度低,生产效率高的特点。

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