一种类单晶硅晶体生长方法和热场结构,本发明涉及一种太阳能晶体硅材料的技术领域。
使用单块板状籽晶,在籽晶诱导下从上向下沿籽晶厚度方向,从硅熔液中生长高度略等于宽度的准方形晶体。
为实现所述晶体生长方法,本发明热场结构包括主、副炉室、籽晶装载腔、晶棒卸载腔,晶体提拉机构,坩埚,加热器,保温筐,隔热板等部件,副炉室中的晶体提拉机构挂载籽晶诱导晶体生长,在晶体生长过程中,在籽晶装载腔和晶棒卸载腔进行籽晶模块的准备和晶棒的取出,晶棒生长完成后,晶体提拉机构可快速卸载并再次挂载籽晶块生长下一根晶体。
本发明所生长类单晶硅晶体,具有晶向统一,边皮料比例低,产品合格率高,缺陷密度低,生产效率高的特点。
张志强
常州常晶科技有限公司
213001 江苏省常州市新北区华山路18号
一种类单晶硅晶体生长方法和热场结构,本发明涉及一种太阳能晶体硅材料的技术领域。
使用单块板状籽晶,在籽晶诱导下从上向下沿籽晶厚度方向,从硅熔液中生长高度略等于宽度的准方形晶体。
为实现所述晶体生长方法,本发明热场结构包括主、副炉室、籽晶装载腔、晶棒卸载腔,晶体提拉机构,坩埚,加热器,保温筐,隔热板等部件,副炉室中的晶体提拉机构挂载籽晶诱导晶体生长,在晶体生长过程中,在籽晶装载腔和晶棒卸载腔进行籽晶模块的准备和晶棒的取出,晶棒生长完成后,晶体提拉机构可快速卸载并再次挂载籽晶块生长下一根晶体。
本发明所生长类单晶硅晶体,具有晶向统一,边皮料比例低,产品合格率高,缺陷密度低,生产效率高的特点。