本实用新型涉及金刚石制备技术领域,具体涉及一种生长金刚石用散热装置,包括沉积腔体,沉积腔体内设有冷却沉积台,还包括托盘,托盘放置于冷却沉积台上,托盘内设有导热介质;所述导热介质为金、银、铜或锡的单质中的任一种;导热介质的液体密度大于金刚石的密度;冷却沉积台设置有冷媒、冷媒进口和冷媒出口。
本实用新型结构简单,设计合理,通过将待生长的金刚石籽晶与融化后导热介质融液形成良好的面接触,达到良好的散热效果,可为金刚石籽晶的连续生长提供均匀的温度条件。
王忠强 丁雄傑 王琦 张国义
北京大学东莞光电研究院
523808 广东省东莞市松山湖园区沁园路17号1栋2单元306号
本实用新型涉及金刚石制备技术领域,具体涉及一种生长金刚石用散热装置,包括沉积腔体,沉积腔体内设有冷却沉积台,还包括托盘,托盘放置于冷却沉积台上,托盘内设有导热介质;所述导热介质为金、银、铜或锡的单质中的任一种;导热介质的液体密度大于金刚石的密度;冷却沉积台设置有冷媒、冷媒进口和冷媒出口。
本实用新型结构简单,设计合理,通过将待生长的金刚石籽晶与融化后导热介质融液形成良好的面接触,达到良好的散热效果,可为金刚石籽晶的连续生长提供均匀的温度条件。