本申请公开了一种具有可动镜面的法珀腔器件及其制作工艺，可动镜面与另一镜面相对设置以形成腔体，可动镜面包括镶嵌有透明材料的硅层，硅层的镶嵌有透明材料的部分形成透光区域，硅层的外围区域与另一镜面连接的部位形成支撑结构，在支撑结构与透光区域之间的部分硅层被去除以形成弹性结构。
可动镜面可由SOI晶圆加工而成，透明材料与SOI晶圆的硅衬底结合可以增加器件设计的灵活性，方便加工。
同时由于硅材料可以通过掺杂等方式调整其导电率，该SOI晶圆的硅衬底还可以用来导通玻璃表面的导电镜面材料。
由SOI晶圆的硅薄膜形成的弹性结构具有良好的机械强度和稳定的弹性系数，而不受应力等影响因素影响，由此形成的可动镜面具有良好的可控性和稳定性。

郭斌 黄锦标

深圳市海谱纳米光学科技有限公司

518000 广东省深圳市宝安区新安街道兴东社区69区中粮创芯研发中心1栋1903，1904

本申请公开了一种具有可动镜面的法珀腔器件及其制作工艺，可动镜面与另一镜面相对设置以形成腔体，可动镜面包括镶嵌有透明材料的硅层，硅层的镶嵌有透明材料的部分形成透光区域，硅层的外围区域与另一镜面连接的部位形成支撑结构，在支撑结构与透光区域之间的部分硅层被去除以形成弹性结构。
可动镜面可由SOI晶圆加工而成，透明材料与SOI晶圆的硅衬底结合可以增加器件设计的灵活性，方便加工。
同时由于硅材料可以通过掺杂等方式调整其导电率，该SOI晶圆的硅衬底还可以用来导通玻璃表面的导电镜面材料。
由SOI晶圆的硅薄膜形成的弹性结构具有良好的机械强度和稳定的弹性系数，而不受应力等影响因素影响，由此形成的可动镜面具有良好的可控性和稳定性。