| 121 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010617265.1 |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 122 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010615291.0 |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 123 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010615245.0 |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 124 |
热电堆传感器的制作方法 |
CN202010615286.X |
2020-06-30 |
审查中-实审 |
| 125 |
具有刻蚀微孔结构的4H-SiC紫外光电探测器及制备 |
CN202011012078.7 |
2020-09-22 |
审查中-实审 |
| 126 |
一种MEMS热电堆红外探测器及制备方法 |
CN202010996100.X |
2020-09-21 |
审查中-实审 |
| 127 |
背照式结构的4H-SiC紫外光电探测器阵列及制备 |
CN202011005272.2 |
2020-09-22 |
审查中-实审 |
| 128 |
多级联动输出的并联微动平台 |
CN201910108188.4 |
2019-01-18 |
审查中-实审 |
| 129 |
一种热压机自动对准调平装置 |
CN202011082164.5 |
2020-10-12 |
审查中-实审 |
| 130 |
显示装置、显示模块、电子设备及显示装置的制造方法 |
CN201980031381.0 |
2019-04-26 |
发明公开 |
| 131 |
柔性平面微型储能器件及其制备方法 |
CN202010726129.6 |
2020-07-25 |
有效专利 |
| 132 |
振荡结构、光学设备以及制造振荡结构的方法 |
CN201810355632.8 |
2018-04-19 |
审查中-实审 |
| 133 |
光扫描装置、光扫描装置的控制方法及移动体 |
CN201880037019.X |
2018-01-18 |
有效专利 |
| 134 |
基于三维石墨烯的集成微纳能量回收存储芯片及其工作方法 |
CN202010416021.7 |
2020-05-16 |
审查中-实审 |
| 135 |
一种基板剥离装置 |
CN202020714396.7 |
2020-04-30 |
有效专利 |
| 136 |
用于制造至少一个膜片装置的方法、用于微机械的传感器的膜片装置和构件 |
CN201980033152.2 |
2019-05-07 |
发明公开 |
| 137 |
一种力学传感器用铌酸锂单晶薄膜图形化刻蚀方法 |
CN202010962862.8 |
2020-09-14 |
审查中-实审 |
| 138 |
一种适用于超导探测器玻璃窗的制备工艺 |
CN202011076966.5 |
2020-10-10 |
审查中-实审 |
| 139 |
一种用于微制造的多层薄膜残余应力和杨氏模量在线测试结构及在线提取方法 |
CN202010984434.5 |
2020-09-18 |
审查中-实审 |
| 140 |
微机电系统压力传感器 |
CN202020759610.0 |
2020-05-09 |
有效专利 |
| 141 |
微机电系统装置及其形成方法及微机电系统结构 |
CN202010090792.1 |
2020-02-13 |
审查中-实审 |
| 142 |
自动聚焦装置及其制造方法 |
CN202010574106.8 |
2020-06-22 |
审查中-实审 |
| 143 |
纳米异质结构及纳米晶体管的制备方法 |
CN201610502945.2 |
2016-07-01 |
有效专利 |
| 144 |
一种传感器、传感器封装方法、晶圆及小尺寸气压传感器 |
CN202011175535.4 |
2020-10-28 |
发明公开 |
| 145 |
微机电系统装置及其制造方法 |
CN202010589548.X |
2020-06-24 |
审查中-实审 |
| 146 |
半导体器件及其制作方法 |
CN201910601550.1 |
2019-07-04 |
审查中-实审 |
| 147 |
晶圆键合方法及异质衬底制备方法 |
CN201710076760.4 |
2017-02-13 |
审查中-公开 |
| 148 |
一种封装治具 |
CN202020661526.5 |
2020-04-27 |
有效专利 |
| 149 |
传感器封装结构及其封装方法、电子设备 |
CN202010992645.3 |
2020-09-18 |
发明公开 |
| 150 |
组合式传感器、电子设备及组合式传感器的制作方法 |
CN202011005109.6 |
2020-09-22 |
审查中-实审 |
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