| 211 |
压力传感器、基板结构及其制造方法 |
CN202011245345.5 |
2020-11-10 |
审查中-实审 |
| 212 |
一种微机电系统三轴加速度传感器芯片和制作方法 |
CN202011219115.1 |
2020-11-04 |
审查中-实审 |
| 213 |
形成图案的方法 |
CN201510821645.6 |
2015-11-24 |
有效专利 |
| 214 |
一种剥离多层二维材料的方法 |
CN201811083699.7 |
2018-09-17 |
审查中-实审 |
| 215 |
一种用于控制液滴形状的薄膜及其制备方法与应用 |
CN202010436325.X |
2020-05-21 |
审查中-实审 |
| 216 |
一种微纳加工系统 |
CN202020377539.X |
2020-03-23 |
有效专利 |
| 217 |
一种超材料太赫兹生物传感器 |
CN202021643275.4 |
2020-08-10 |
有效专利 |
| 218 |
一种MEMS压力传感器充油芯体 |
CN202021071699.8 |
2020-06-11 |
有效专利 |
| 219 |
一种基于三层胶的金属剥离方法 |
CN202011026789.X |
2020-09-25 |
审查中-实审 |
| 220 |
一种不同真空度封装的MEMS圆片级真空封装方法 |
CN202011024266.1 |
2020-09-25 |
审查中-实审 |
| 221 |
一种用于悬臂梁型SOI-MEMS器件的选择性电化学刻蚀方法 |
CN202011039741.2 |
2020-09-28 |
审查中-实审 |
| 222 |
一种硅片膜层腐蚀剩余厚度的监控方法 |
CN202011024268.0 |
2020-09-25 |
审查中-实审 |
| 223 |
一种CMOS-MEMS集成芯片的规模化制造方法 |
CN201811360938.9 |
2018-11-15 |
有效专利 |
| 224 |
一种微桥组件、红外探测器及其制造方法 |
CN201811123376.6 |
2018-09-26 |
审查中-实审 |
| 225 |
一种光MEMS器件封装结构及其制备方法 |
CN202011162993.4 |
2020-10-27 |
审查中-实审 |
| 226 |
利用应变累积驱动实现复杂运动的驱动器、制备方法及应用 |
CN201811635656.5 |
2018-12-29 |
审查中-实审 |
| 227 |
一种MEMS结构 |
CN201910661030.X |
2019-07-22 |
发明公开 |
| 228 |
MEMS器件的制造方法及MEMS器件 |
CN201980037632.6 |
2019-05-22 |
发明公开 |
| 229 |
扭矩传感器 |
CN202021912136.7 |
2020-09-04 |
有效专利 |
| 230 |
晶圆减薄方法 |
CN202010846120.9 |
2020-08-21 |
有效专利 |
| 231 |
一种在钙钛矿薄膜表面制备同心环结构的方法 |
CN201910676689.2 |
2019-07-25 |
发明公开 |
| 232 |
一种十字岛梁膜高温微压传感器芯片及制备方法 |
CN202011061201.4 |
2020-09-30 |
发明公开 |
| 233 |
用于器件的覆盖物及用于制造用于器件的覆盖物的方法 |
CN201580053522.0 |
2015-08-25 |
审查中-公开 |
| 234 |
微纳制造装置 |
CN202011110102.0 |
2020-10-16 |
发明公开 |
| 235 |
一种MEMS器件及制备方法、电子装置 |
CN201711037349.2 |
2017-10-30 |
有效专利 |
| 236 |
传感器结构件及其制造方法 |
CN201810746872.0 |
2018-07-09 |
有效专利 |
| 237 |
一种具有纳米尺度球形尖端的原子力显微镜探针制作方法 |
CN201810069867.0 |
2018-01-24 |
有效专利 |
| 238 |
一种基于二维材料制备三维结构的方法 |
CN201811018589.2 |
2018-09-03 |
审查中-实审 |
| 239 |
MEMS器件 |
CN202010787920.8 |
2020-08-07 |
发明公开 |
| 240 |
在非导电衬底上进行电子束或离子束聚焦刻蚀及显微成像的方法 |
CN201910208280.8 |
2019-03-19 |
有效专利 |
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