| 271 |
一种三轴磁传感器及其制备方法 |
CN201910318927.2 |
2019-04-19 |
有效专利 |
| 272 |
一种基于玻璃浆料的标准漏孔密封方法 |
CN201811495502.0 |
2018-12-07 |
有效专利 |
| 273 |
一种平板式三维大行程纳米操作平台 |
CN201811320220.7 |
2018-11-07 |
有效专利 |
| 274 |
一种MEMS压力传感器及其制备方法 |
CN202011597567.3 |
2020-12-30 |
发明公开 |
| 275 |
一种MEMS热保护器及其制备方法 |
CN202011537051.X |
2020-12-23 |
有效专利 |
| 276 |
一种MEMS压电传感器及其制作方法 |
CN201810014708.0 |
2018-01-08 |
审查中-实审 |
| 277 |
一种压印超薄材料制备均匀表面微结构的方法 |
CN201810659782.8 |
2018-06-25 |
有效专利 |
| 278 |
一种表面增强拉曼散射基底及其制备方法 |
CN201910022217.5 |
2019-01-10 |
有效专利 |
| 279 |
一种MEMS器件及其制作方法、显示基板 |
CN201910146353.5 |
2019-02-27 |
审查中-实审 |
| 280 |
利用微机电工艺制造气体检测器的方法 |
CN201711472914.8 |
2017-12-29 |
审查中-实审 |
| 281 |
基于纳米结构和有序纳米颗粒的柔性SERS基底及其制备方法和应用 |
CN201910380665.2 |
2019-05-08 |
审查中-实审 |
| 282 |
采用液相界面层洁净、无损转移大面积二维材料的方法 |
CN201711167326.3 |
2017-11-21 |
审查中-实审 |
| 283 |
一种基于宏观声学理论的纳米声学效应分析方法 |
CN201910119562.0 |
2019-02-18 |
审查中-实审 |
| 284 |
一种MEMS惯性器件及其无应力电装方法 |
CN201811196958.7 |
2018-10-15 |
审查中-实审 |
| 285 |
一种基于宽尺度范围的纳米声学效应研究方法 |
CN201910119563.5 |
2019-02-18 |
审查中-实审 |
| 286 |
一种基于分子动力学理论的纳米声学效应分析方法 |
CN201910122716.1 |
2019-02-18 |
审查中-实审 |
| 287 |
一种基于MEMS技术的3D体硅微型电容器、其制作及应用 |
CN201910636397.6 |
2019-07-15 |
有效专利 |
| 288 |
一种压力传感器及其形成方法 |
CN201810354360.X |
2018-04-19 |
有效专利 |
| 289 |
微电子机械系统(MEMS)装置及其制造方法 |
CN201711269755.1 |
2017-12-05 |
有效专利 |
| 290 |
一种微纳通孔模板及其制备方法与应用 |
CN201910092159.3 |
2019-01-30 |
审查中-实审 |
| 291 |
一种多层堆叠晶圆的研磨方法 |
CN201610929793.4 |
2016-10-31 |
审查中-实审 |
| 292 |
基于SON结构的压阻式加速度传感器的制作方法 |
CN201910427434.2 |
2019-05-22 |
审查中-实审 |
| 293 |
压力传感器，特别是具有改进布局的麦克风 |
CN201780061393.9 |
2017-10-03 |
有效专利 |
| 294 |
MEMS电极结构及其制造方法 |
CN201810984582.X |
2018-08-28 |
有效专利 |
| 295 |
力量传感器以及其制造方法 |
CN201810391387.6 |
2018-04-27 |
审查中-实审 |
| 296 |
一种MEMS电容式传感器及其制备方法 |
CN202011346703.1 |
2020-11-26 |
审查中-实审 |
| 297 |
一种耐高温碳化硅压力传感器及其制备方法 |
CN202010469840.8 |
2020-05-28 |
有效专利 |
| 298 |
一种高品质因子压电悬臂梁密度传感器芯片及其工作方法和制备方法 |
CN202010333818.0 |
2020-04-24 |
有效专利 |
| 299 |
芯片封装结构、其制作方法和电子设备 |
CN202110190855.5 |
2021-02-20 |
有效专利 |
| 300 |
基于黑磷纳米条阵列和金属光栅狭缝的超吸收结构 |
CN201911198772.X |
2019-11-25 |
有效专利 |
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