| 151 |
一种微机电系统麦克风晶圆级封装结构 |
CN202020849780.8 |
2020-05-20 |
有效专利 |
| 152 |
一种适用于MEMS加速度传感器芯片的低应力封装结构 |
CN202011001239.2 |
2020-09-22 |
发明公开 |
| 153 |
一种具有粗糙表面的硅片的制备方法以及硅片 |
CN202011053233.X |
2020-09-29 |
审查中-实审 |
| 154 |
一种具有粗糙表面的硅片的制备方法以及硅片 |
CN202011049871.4 |
2020-09-29 |
审查中-实审 |
| 155 |
一种高温压力传感器芯片 |
CN202022283336.7 |
2020-10-14 |
有效专利 |
| 156 |
一种MEMS器件的制造方法及MEMS器件 |
CN202011033887.6 |
2020-09-27 |
审查中-实审 |
| 157 |
用于体外培养的血管化肿瘤微流控器官芯片及其制备方法 |
CN202010884867.3 |
2020-08-28 |
审查中-实审 |
| 158 |
具有通过保护帽进行信号路由的微机电设备及控制微机电设备的方法 |
CN201710775777.9 |
2013-06-20 |
有效专利 |
| 159 |
一种大幅面阵列飞秒激光微流控芯片直印方法及其设备 |
CN202010863837.4 |
2020-08-25 |
发明公开 |
| 160 |
集成机械能收集与振动检测功能的微器件 |
CN202021582014.6 |
2020-08-03 |
有效专利 |
| 161 |
一种晶片键合过程中对准检测方法 |
CN202010880769.2 |
2020-08-27 |
审查中-实审 |
| 162 |
一种仿猪笼草结构的超疏水高疏油表面的制备方法 |
CN202011059712.2 |
2020-09-30 |
审查中-实审 |
| 163 |
一种采用等离子体刻蚀制备原子力显微镜探针阶梯型基底的方法 |
CN202010921867.6 |
2020-09-04 |
审查中-实审 |
| 164 |
一种基于通孔互连的红外温度传感器封装结构 |
CN202021478617.1 |
2020-07-24 |
有效专利 |
| 165 |
用于制造具有黑色表面的微电子器件的工艺和微电子器件 |
CN201710203509.X |
2017-03-30 |
有效专利 |
| 166 |
一种高温压力传感器芯片及其制备方法 |
CN202011099028.7 |
2020-10-14 |
审查中-实审 |
| 167 |
一种基于硅基MEMS技术的小型化射频同轴结构及制造方法 |
CN202011047747.4 |
2020-09-29 |
审查中-实审 |
| 168 |
一种具有可动镜面的法珀腔器件及其制作工艺 |
CN202011049116.6 |
2020-09-29 |
审查中-实审 |
| 169 |
基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器及其加工方法 |
CN202011131772.0 |
2020-10-21 |
审查中-实审 |
| 170 |
具有电和光连接的集成电路封装件及其制造方法 |
CN201980037557.3 |
2019-04-03 |
发明公开 |
| 171 |
MEMS麦克风系统和方法 |
CN201780097788.4 |
2017-10-19 |
审查中-实审 |
| 172 |
一种惯性传感器及其形成方法 |
CN202011413591.7 |
2020-12-07 |
有效专利 |
| 173 |
一种单片六轴IMU的双面电极制作及圆片级真空封装方法 |
CN201910619306.8 |
2019-07-10 |
审查中-实审 |
| 174 |
一种硅基自适应喷涌式微流体散热基板及其制备方法 |
CN201910778546.2 |
2019-08-22 |
有效专利 |
| 175 |
一种硅晶圆结构及其制造方法 |
CN201910622606.1 |
2019-07-11 |
审查中-实审 |
| 176 |
一种产生相反地磁化的磁结构的方法 |
CN202010649585.5 |
2020-07-08 |
审查中-实审 |
| 177 |
一种旋转结构的制备方法以及旋转结构 |
CN202010052068.X |
2020-01-17 |
有效专利 |
| 178 |
一种基于温度调控的液滴成型法表面双级微结构制备方法 |
CN202010958514.3 |
2020-09-14 |
审查中-实审 |
| 179 |
形成传感器集成封装的方法和由此形成的结构 |
CN201680018801.8 |
2016-02-25 |
有效专利 |
| 180 |
一种利用点胶机打印银纳米线束网络结构的方法 |
CN202010982778.2 |
2020-09-17 |
审查中-实审 |
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