| 61 |
一种具有隔振板的MEMS器件 |
CN202010684750.0 |
2020-07-16 |
发明公开 |
| 62 |
压力传感器封装结构及电子设备 |
CN202020715391.6 |
2020-04-30 |
有效专利 |
| 63 |
用于紧凑型原子装置的物理封装 |
CN201810360183.6 |
2018-04-20 |
有效专利 |
| 64 |
一种用于微通道流动控制的微型阀门及其控制方法 |
CN202010979345.1 |
2020-09-17 |
发明公开 |
| 65 |
一种基于立体结构铁芯的微型磁通门传感器 |
CN201811143890.6 |
2018-09-29 |
审查中-实审 |
| 66 |
用于钟表的机构以及包括这种机构的钟表 |
CN201780027722.8 |
2017-03-13 |
审查中-实审 |
| 67 |
一种埋入基板芯片系统三维封装结构 |
CN202022021037.6 |
2020-09-15 |
有效专利 |
| 68 |
微结构流体流动控制装置 |
CN202010787650.0 |
2020-08-07 |
发明公开 |
| 69 |
应力隔离的绝对压力传感器 |
CN201680082401.3 |
2016-09-02 |
审查中-实审 |
| 70 |
一种适用于流体界面上微小物体组装和重构的方法及其应用 |
CN202011252868.2 |
2020-11-11 |
发明公开 |
| 71 |
用于自主免疫测定的微流体分析平台 |
CN201780076018.1 |
2017-10-06 |
审查中-实审 |
| 72 |
制造具有晶体管单元的半导体器件的方法以及半导体器件 |
CN201710160474.6 |
2017-03-17 |
有效专利 |
| 73 |
光扫描模块和光扫描控制装置 |
CN201680057946.9 |
2016-11-18 |
有效专利 |
| 74 |
微流体感测 |
CN201580074998.2 |
2015-01-30 |
发明公开 |
| 75 |
具有壳体的麦克风单元 |
CN201810004061.3 |
2018-01-03 |
发明公开 |
| 76 |
流体微机电系统 |
CN201680079441.2 |
2016-04-19 |
有效专利 |
| 77 |
微机电系统(MEMS)麦克风偏置电压 |
CN201780026534.3 |
2017-04-27 |
审查中-实审 |
| 78 |
通过沉积调整来解决FCVD的线条弯曲 |
CN201580070028.5 |
2015-12-01 |
有效专利 |
| 79 |
带有扩展浅多边形腔的带腔绝缘体上硅MEMS压力传感装置 |
CN201710899010.7 |
2017-09-28 |
审查中-实审 |
| 80 |
一种基于涡旋磁畴振荡的双层自旋转移力矩纳米柱振荡器 |
CN201910510754.4 |
2019-06-13 |
有效专利 |
| 81 |
具有固定的内部区域的微机电麦克风 |
CN201680058133.1 |
2016-07-15 |
发明公开 |
| 82 |
纳米流体设备以及化学分析装置 |
CN201680060895.5 |
2016-10-21 |
有效专利 |
| 83 |
微机械的构件和同时围绕两个彼此倾斜的转动轴线调节能够调节的部件的方法 |
CN201710368339.0 |
2017-05-23 |
审查中-实审 |
| 84 |
传感器装置、陀螺仪传感器和电子设备 |
CN201580064373.8 |
2015-10-20 |
审查中-实审 |
| 85 |
一种电润湿驱动液滴微阀控制液体流通装置 |
CN201911091920.8 |
2019-11-08 |
有效专利 |
| 86 |
一种纳米柱传感器、折射率检测装置及方法 |
CN201810859427.5 |
2018-08-01 |
审查中-实审 |
| 87 |
物理量传感器 |
CN201680054606.0 |
2016-08-03 |
审查中-实审 |
| 88 |
采用接触式法大规模定点捕获微米球的方法 |
CN201810656150.6 |
2018-06-24 |
审查中-实审 |
| 89 |
一种热敏传感器阵列 |
CN202010897430.3 |
2020-08-31 |
审查中-实审 |
| 90 |
基于MEMS扫描微镜的发射方向可控的蓝光微LED器件及其制备方法 |
CN201911132448.8 |
2019-11-19 |
审查中-实审 |
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